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氦质谱检漏仪系统

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真空系统检漏率如何降低?

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真空系统检漏率如何降低?

发布日期:2019-01-16 作者:迪泰真空 点击:

氦质谱检漏仪原理浅析真空系统检漏率如何降低?

       真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

  1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

  2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。

  3、认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。

  4、打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。

  5、尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。

  密封形式的选择

  密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式。

  密封部位进行水冷后,其温度在80℃左右,个别处温度可达100℃以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。

  用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。

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