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氦质谱检漏仪系统

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真空检漏仪器之氦质谱检漏仪

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真空检漏仪器之氦质谱检漏仪

发布日期:2018-11-28 作者:迪泰真空 点击:

       氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体的真空检漏仪器。因为性能好、灵敏度高,因此它在真空以及其他相关行业中使用最为广泛。这也是干式螺杆真空泵厂家介绍的最后一种常用真空检漏仪器。

       氦质谱检漏仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯一性检漏仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体,主要是因为氦质量轻,易于穿过漏孔,扩散快,对分析设备制造的要求相对简单;同时氦气在空气中含量少,本底压力小,又为惰性气体,不易发生反应等等,都为提高仪器灵敏度创造了条件。

       氦质谱检漏仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,具体的结构原理,珂勒曦小编就不在此班门弄斧了。而在结构组成上,大部分氦质谱检漏仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空检漏仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的核心功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证检漏仪真空度等工作。

      氦质谱检漏仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在最佳条件下所能实现的仪器灵敏度,但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦质谱检漏仪的检漏方法也较多,有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式,可结合实际情况灵活运用。如最简单常用的喷吹法,与卤素检漏仪的真空法类似,将被检件抽真空,调整好检漏仪并与被检件连通,随后用喷枪在可疑处喷吹氦气,如果存在漏洞,喷吹一定时间后,检漏仪即可发出信号。细节的操作方法、注意事项以及其他的仪器使用方法,氦质谱检漏仪品牌就不在这里介绍了。

氦质谱检漏仪品牌

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