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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

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氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

发布日期:2018-09-13 作者:迪泰真空 点击:

一、 电磁阀阀芯检漏原因

  该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀。 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品。

  由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了。

二、 电磁阀阀芯检漏方法

  大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准。

  客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且数据可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点。

三、电磁阀阀芯检漏操作说明  

       1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上;

  2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值;

  3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化;

  4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成。

氦质谱检漏仪系统用于直通阀检漏

一、阀门检漏需求

  阀门的密封性能是考核阀门质量优劣的主要指标之一。 所以在设计生产阀门时就要提高其密封性能, 并且在出厂前最后一道工序应对阀门做密封性检测。 目前国内许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s。 但随着客户对产品质量要求的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求。 为了保证产品竞争, 许多厂家引进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一。

二、阀门检漏方法

  Pfeiffer HLT 系列氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法。 阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s。

三、阀门检漏操作

  1.工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560氦质谱检漏仪。

  2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值. 当旋片泵抽真空到达一定真空度(最高背压为 25 mbar业界最高)时, 可以进行检漏操作。

  3。 工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化。

  4。 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象质量不合格。 如果漏率值能达到要求, 该被检对象合格, 检漏检测完成。

氦质谱检漏仪品牌

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