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氦质谱检漏仪系统

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氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法

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氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法

发布日期:2018-09-11 作者:迪泰真空 点击:

介绍两种生产上常用的氦质谱检漏仪系统的检漏方法: 氦罩法和喷吹法。

1、氦罩法

       氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示有变化时, 表明处于氦罩下的被检件有漏孔。检验罩子可用塑料薄膜制成, 对于大批量的小零件, 也可制作专用的刚性好的检验罩, 使所充示漏气体的压力高于100kPa , 以提高检漏灵敏度。

2、喷吹法

  喷吹法是最常用、最方便的检漏方法。检漏时, 用连接在装有氦气的气瓶上的喷嘴对着疑有漏孔处进行喷吹。喷吹法检漏应注意以下几个问题: 

    (1) 检漏次序: 从被检件的上方至下方, 由靠近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷吹。

    (2) 初检时用大口径的喷嘴, 使氦气流的覆盖面积较大些, 找出漏孔所在的区域后, 改用小口径喷嘴确定漏孔的准确位置。

    (3) 要先修补检测出的大漏孔(用真空泥封堵) , 再去检测小漏孔。

    (4) 当存在两个距离很近的可疑漏孔点时, 应先把一点盖住, 再用最细的喷嘴喷吹另一点。

    (5) 当喷嘴喷吹某点时, 如果检漏仪指示有变化, 但其上升速度很慢且指示值很不一致, 就表明邻近的其他地方存在大漏孔。

    (6) 检测出漏孔后还应再作几次复验。

       一般先进行总漏率的测定工作, 只有当总漏率超出允许值后, 再进行漏孔的定位工作。检漏环境要保持通风良好、清洁和干燥, 不得有强电磁干扰和强烈振动, 环境温度为(23±7)℃, 现场要备有温度和大气压力监测装置。

       氦质谱检漏仪查漏原理:

  氦质谱检漏是一种精度很高的不停机查漏方法,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境) 、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。

  正常运行时,空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出,排至大气。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏仪,在真空系统的漏点处喷氦气,由于氦质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦气与空气的混合元体,有一部分被吸入到氦质谱检漏仪,由于氦分子质量与其他分子质量不一样,通过磁场产生的偏转磁力不一样,仪器上设计有一狭缝,刚好使氦分子通过而其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的氦分子打在收集板上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。

氦质谱检漏仪原理

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