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氦质谱检漏仪系统

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检漏知识小课堂——氦质谱检漏仪检漏方法大盘点,孰优孰劣一较高低

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检漏知识小课堂——氦质谱检漏仪检漏方法大盘点,孰优孰劣一较高低

发布日期:2018-09-04 作者:迪泰真空 点击:

小编为您盘点氦质谱检漏仪品牌的检漏方法,如下:

工业中常见的泄漏检测方法有:

• 水检测试法

• 压降/压差测试法

• 氢气测试法 

• 氦气泄漏测试

水检测试法:

该方法是将充满气的部件放入水中,看气泡出来。

在泄漏0。06sccm下,每秒在理想的情况下能够产生一个泡。现实当中,气泡不能够很简单的离开元件表面,所以这种检漏方法一般只能到达0。6sccm。限制了该方法的工业应用。

压降/压差测试法:

工业中目前普遍采用的是压力衰减模式,测试工件内充入规定的测试压力的空气或者氮气,经过一段时间的稳定,测试压力的下降,根据产品的容积计算出泄漏流量;

压力泄漏测试法,有以下因素干扰:

温度问题;不适用于柔性测试样本;

常压腔氦或氢累积泄漏检测法:

方法是在非真空状态下通过简单累积室进行的。与空气测试不同,INFICON 累积法的测试结果不受温度或湿度的影响,产生极其可靠的测试结果,具有很高的可重复性。

常压下的检漏技术;简易、低成本累积腔体;检漏精度到达10-5mbar。l/s;

真空箱氦泄漏检测法:

产品工件充入对应的检测压力,外部腔体抽空,泄漏出来的氦气被检漏仪抓取,检测出泄漏量。

氦或氢吸枪泄漏检测法:

使用示踪气体的方法:吸枪法

• 总是由内至外

• 远距离高速度的高吸气气体流量

• 适用于定位漏率点

• 或已知道漏率大概位置

氦质谱检漏仪可靠的品质保证广泛的市场应用,氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能极强,可反复使用数年仍保证高精度的检漏漏率。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。
氦质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵,对氦气抽速可达 2.5l/s,氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s;
吸枪模式:5 · 10-10 Pa m3/s。

氦质谱检漏仪原理

本文网址:http://www.hcrencai.com/news/426.html

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