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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪常见故障处理

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氦质谱检漏仪常见故障处理

发布日期:2018-08-30 作者:迪泰真空 点击:

1、质谱室故障

(1) 灯丝指示灯不亮。检查灯丝开关键是否处于关闭位置(再按一下),检查I/O 短接插头是否仪器后面的接口。

(2) 灯丝指示灯闪烁。用万用表检查质谱室航空插座1和5接线柱是否开路,若开路,更换灯丝;若不开路,检查接线柱6是否和其他接头导通,消除短路现象。

(3) 当检漏开始时压力不下降。检查电路板PO318保险丝是否有问题。

(4) 检漏口压力>0。01MPa。机械泵油失效或PI3规管坏。

2、检测开始时出现的故障

(1) 检漏键无效(绿色指示灯亮):检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断,按检漏键将没有反应。

(2) 检漏键无效(指示灯不亮) 。I/O 短接插头未插入仪器后面插座。如果I/O 短接插头未插入仪器后面插座,这时检漏仪将接受I/O口输入信号,而不接受遥控器信号,检漏键无效。

3、自动校准结束时出现的故障

自动校准失败(灯丝亮)红色校准灯亮。首先检查自动校准设置,开关S1 是否处于OFF 位置,所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度(如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致,仪器也可使用) ,清洗质谱室。

4、检漏时出现的故障

(1) 不向细检方式转换,检漏口压力<2×10-4MPa:检查粗检指示灯是否亮,如果亮,说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

(2) 灵敏度低。检查三极规所测压力, 等到质谱室压力<10-6MPa 时再检漏;如果压力达到,检查离子源是否被污染,清洗离子源。

(3) 氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气,导致氦污染),检查仪器系统是否有漏,真空管路是否污染,检查三极规上压力是否达到10-6MPa,离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题,如果车间内有多台检漏仪,且氦气的使用量较大时,车间通风不好时;或者车间通风良好,但洁净厂房多采用上送风方式,气流方向是自上而下,由于氦气分子量较小,向上扩散,致使氦气扩散慢,也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处,安装一个几升容量的气瓶,该气瓶与低压氦气管路连接。这样,就大大减少了环境的氦污染。

(4) 工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常,工作几次后,抽速大大减慢,检漏不过;加死堵检漏仪不漏,工作正常。这是因为工装设计不合理所致,比如工装结构不合理,内表面太粗糙,导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉) 。

(5) 操作不合理导致故障。如工作中,有一个大漏的工件,由于操作人员判断错误,不认为工件漏,而去检查工装的连接或者检漏仪,多次对这一工件检漏。这样就会发现,所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后,有大量的氦气进入质谱室,造成质谱室污染。解决的办法是,清理质谱室,反复吸气排气。

以上是氦质谱检漏仪品牌的小编为您整理的关于氦质谱检漏仪出现故障时的处理办法。

氦质谱检漏仪原理

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