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氦质谱检漏仪系统

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氦质谱检漏仪使用方法

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氦质谱检漏仪使用方法

发布日期:2018-08-22 作者:迪泰真空 点击:

氦质谱检漏仪利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。

氦质谱检漏仪气体工业名词术语,用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

为什么要检漏?

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。

氦质谱检漏仪原理通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。

1、吸枪法

被检件充入高于大气压的探索气氦,检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时,泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪,而被检测。吸枪在试件表面移动,同时注视检漏仪漏率指示的变化,一旦泄漏增加,吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。

2、钟罩发——测总漏率

将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,最终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。

3、背压法——测总漏率

电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,最终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。

4、辅助真空系统

对于漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件,若直接与检漏仪相连,检漏仪的真空度可能抽不上去,使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统,提高对被检件的抽速。最简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门,复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵,前级系最好用气镇式机械泵。

氦质谱检漏仪系统

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