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氦质谱检漏仪系统

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详解氦质谱仪的整体结构

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详解氦质谱仪的整体结构

发布日期:2018-05-31 作者:迪泰真空 点击:

    氦质谱检漏仪是一种质谱分析仪器,主要用于真空检漏,具有性能好、灵敏度高等优点。一般情况下,氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成,有时还需要配置辅助的真空系统。以180°的磁偏转型分析器检漏仪举例,其主要组成部分详解如下。氦质谱检漏仪品牌

  一、质谱室

  形象的说,质谱室是氦质谱检漏的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将第一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置永久磁铁形成磁分析器的磁场。

  二、真空系统

  真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0。001-0。01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。

  三、电气系统

  氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

  四、辅助真空系统的配置

  在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。


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